EUV 優點
2020年4月22日—在台積電法說會上,EUV是近年不斷提到的微影製程名稱,也是現今能在晶片上畫出最精密線路的光罩技術,究竟微影技術是什麼?在神秘的半導體無塵室如何進行 ...,除了更少的光子暴露在光刻膠上之外,EUV光刻膠也吸收更少的光子。...EUV光刻膠爭奪,未來...
EUV 極紫外光!一個你應該知道與台積電相關的技術
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2021年5月27日—眾多因素中,其中一個關鍵在於台積電的EUV微影技術的導入,良率、防塵控制,領先業界完成量產的速度,讓台積電目前能夠逐漸拉開與三星、Intel的差距。阿 ...
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